반도체 장비간 통신 표준 (GEM) Ⅰ . GEM 이란 ? SECS 프로토콜 ( 메시지 전송체계를 규정하는 SECS-I, HSMS 및 SECS-1 에서 규정하고 있는 메시지 내용의 구조를 규정하는 SECS-II 부분으로 구성된다 ) 은 통신을 위한 최소한의 규약만을 제공할 뿐 실제 장비에서 발생하는 다양한 기능에 대한 동작 자체를 표준화하는 것은 아니었다 . 모든 반도체 장비가 SECS 프로토콜에 의해 통신을 하지만 , 그 동작 방식이나 사용하는 메시지가 모두 다르다면 정말로 복잡한 일이 아닐 수 없다 . 이런 이유로 SEMI 에서는 장비의 동작에 대한 시나리오와 이때 사용되는 메시지를 묶어서 장비 구동에 관한 표준을 마련했는데 , 이 표준이 E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment 이고 , 이를 간단히 줄여서 GEM(Generic Equipment Model) 이라고 부른다 . GEM 에서는 기능에 따른 장비의 동작 시나리오를 지정하고 , 이 시나리오에 따라 필요한 SECS-II 메시지를 선정해서 표준으로 삼고 있다 . Ⅱ . GEM Specification 1. GEM 사양서 작성 GEM 에 대해 흔히 혼동하고 있는 내용이 GEM 사양서를 누가 작성하느냐 하는 문제다 . GEM 통신 사양서는 장비의 H/W 사양서와 함께 장비 업체가 Chip Maker 에게 초기에 제공해야 한다 . 다시 말하면 , 장비 업체는 H/W 사양 뿐 아니라 내 장비가 어떻게 구동되는지를 기술하는 GEM 사양서를 갖추고 있어야 한다는 말이다 . 2. GEM Compliance Statement GEM 사양의 구현 여부는 아래와 같은 GEM Compliance Statement 로 표시한다 . GEM 사양은 크게 Fundamental Requirements 와 Additional Capabilities...